本报告以中国半导体光刻材料产业为基础
，采用2021年的数据，分别从产业规模
、研发和产业发展投入、专利情况、从业人员情况
、主要光刻材料的技术水平和应用现状等方面对中国光刻材料产业进行分析和预测
。报告完成于2022年6月。

目录
1    我国半导体光刻材料总体产业规模情况    1
2    半导体光刻材料行业研发投入情况    4
3    半导体光刻材料行业产业发展投入情况    5
4    半导体光刻材料行业拥有专利情况    6
5    半导体光刻材料行业从业人员情况    7
6    半导体光刻材料的成熟度分析    9

图表目录
图 1  2010-2022年半导体光刻材料行业公司销售收入增长及预测    2
图 2  2010-2022年用于半导体制造光刻材料产品销售收入增长及预测    3
图 3  2010-2022年用于半导体制造光刻材料产品在总的销售收入中所占比例    4
图 4  2010-2021年半导体光刻材料行业研发投入增长情况    5
图 5  2010-2021年半导体光刻材料行业产业发展投入增长情况    6
图 6  2010-2021年光刻材料行业专利数增长情况    7
图 7  2021年半导体光刻材料行业人员构成（按学历）    8
图 8  2021年半导体光刻胶行业人员构成（按工作性质）    8
图 9  2021年紫外宽谱光刻胶的产品成熟度    9
图 10  2021年I线光刻胶产品成熟度    10
图 11  2021年KrF光刻胶产品成熟度    11
图 12  2021年光刻胶辅助材料的产品成熟度    12
图 13  2021年光刻胶配套试剂的产品成熟度    12
表 1  2010-2022年半导体光刻材料行业公司销售收入增长及预测    1
表 2  2010-2022年用于半导体制造光刻材料产品销售收入增长及预测    2
表 3  2010-2022年用于半导体制造光刻材料产品在总的销售收入中所占比例    3
表 4  2010-2021年半导体光刻材料行业研发投入发展趋势    4
表 5  2010-2021年半导体光刻材料行业产业发展投入发展趋势    5
表 6  2010-2021年半导体光刻材料行业专利数发展趋势    6
表 7  2021年半导体光刻材料行业人员构成    7