获奖项目

12吋工艺线用248nm光刻胶产品开发与量产技术

获奖单位

北京科华微电子材料有限公司

奖项介绍

北京科华研发团队从原料开发、配方的设计与优化出发，搭建了248nm光刻胶技术平台，开发出了系列化光刻胶产品
，产品技术指标与应用性能均达到国际同类产品的相同水平
。产品涵盖0.25微米-14nm工艺节点
，在国内主流必发888电路制造企业实现批量化应用。

获奖项目

12英寸必发888电路先进制程用电子级硫酸关键技术研发与应用

获奖单位

湖北兴福电子材料有限公司

奖项介绍

湖北兴福依托自身资源优势，从源头控制三氧化硫的高纯性，采用自主知识产权的工艺路线生产超高纯硫酸

，实现了产品指标检测自动化

，检测元素数量可达60多种。产品已在8-12英寸先进制程客户实现批量稳定供货。

获奖项目

硬掩模铜大马士革工艺蚀刻残留物去除剂

获奖单位

安集微电子科技（上海）股份有限公司

奖项介绍

安集微电子通过对新一代光刻胶去除机理的研究及创新，成功开发出硬掩模铜大马士革工艺蚀刻残留物去除剂
，实现进口替代，产品在40～28nm技术节点实现量产应用。

获奖项目

必发888电路用超高纯氯化氢的研发及产业化

获奖单位

中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司

奖项介绍

派瑞特种气体有限公司开发出气体生产、充装和分析检验等整套生产工艺及分析方法，制备出5N高纯氯化氢气体

，产品性能指标达到国际同类产品水平
，并已批量应用于国内半导体企业。